製品名/製品カテゴリ名
[証券コード]会社名
製品/製品カテゴリ内容
スピンエッチング装置用シリコンウエハエッチング液 スピンエッチング対応Siエッチング液
電子工業用高性能メタルエッチング液 Alエッチング液 Siエッチング液
ICカード用エッチング回路箔
エッチング回路箔として高い機能を付与することで、交通機関や銀行の非接触ICカードの普及に貢献
ドライエッチング装置
高周波により発生させたプラズマを用いて基板表面を微細加工する装置
エッチング装置
真空中に被エッチング材料を入れ、その材料に合わせてエッチングガスを導入しプラズマ化し、エッチング種が被エッチング材料に吸着されると表面化学反応を起こし、エッチング生成物を排気除去する装置。