(株)東京放送の出資により、東京都港区赤坂に資本金500万円で(株)東京エレクトロン研究所を設立
拡散炉、リークディテクタ、IC製造機器の納入・販売を開始
米国サームコ社から拡散炉の輸入販売代理権を獲得し、販売を開始
米国フェアチャイルド社とICテスタの代理店契約
ICテスタの1号機を輸入販売開始
パネトロン(株)を設立し、日本初の輸入電子部品ストッキングディストリビュータとなる
サンフランシスコ事務所を開設
米国サームコ社との合弁会社テル・サームコ(株)をTBS会館内に設立
テル・サームコ(株)で拡散炉の国内生産を開始
テルトロン(株)を設立し、カーステレオOEM輸出販売を開始
(株)メック・エンジニアリングを設立
横浜にテル・サームコ(株)社屋を移転し、拡散炉完全国産化へ
米国コビルト社と代理店契約
(株)テル・エンジニアリングを設立
(株)メック・エンジニアリングでラインプリンタの販売を開始
東京プロセス開発(株)を設立、分析機器(公害防止機器)の輸入販売を開始
パネトロン(株)がインテル社の代理店としてマイクロプロセッサの輸入販売を開始
米国コンピュータビジョン社と代理店契約を締結し、CAD/CAMシステムの輸入開始
テル・サームコ社が世界初の高圧酸化装置を開発
米国KLA社と代理店契約
「(株)東京エレクトロン研究所」から「東京エレクトロン(株)」へ商号を変更
日本初のICテストセンター開設
米国バリアン・アソシエイツ社と代理店契約
米国AMD社と代理店契約
テル・ジェンラッド(株)を設立、インサーキットボードテスタを国産化
テル・バリアン(株)を設立、イオン注入装置を国産化
テル・メック(株)でクリーントラックを開発開始
米国ラム・リサーチ社との合弁会社テル・ラム(株)を設立
テル・サームコ(株)を横浜より神奈川県津久井郡城山町に社屋を移転
山梨県韮崎市穂坂工業団地内に総合研究所が完成
テル・サームコ製縦型拡散炉1号機出荷
テル・ラム(株)を100%子会社化し、翌年、テル山梨(株)に社名変更
半導体製造装置の輸出を開始
テル・サームコ(株)を100%子会社化し、テル相模(株)に社名変更
半導体製造装置メーカー売上高世界ランキング1位
ディスプレイ製造装置市場へ本格参入
東京エレクトロンFE(株)を設立
東京エレクトロンデバイス(株)を設立
テル・エンジニアリング(株)を設立
ディスプレイ製造装置コータ/デベロッパの販売を開始
枚葉CVD装置初号機を出荷
山梨・穂坂地区に300mmウェーハ対応のプロセステクノロジーセンター完成
東京エレクトロンEE(株)を設立
半導体業界における環境対策活動への功績を称え「SEMI井上皓賞」がSEMIにより新設
Supercritical Systems社を買収
コーポレートメッセージ「People. Technology. Commitment.」を制定
Timbre Technologies社を買収
産学共同の研究開発推進支援プログラム(Albany NanoTechプログラム)に参加
Tokyo Electron (Shanghai) Logistic Center Ltd.を設立
東京エレクトロン ソフトウェア・テクノロジーズ(株)を設立
太陽光パネル製造装置事業への参入(2012年 スイスOerlikon Solar社を買収)
TEL Magnetic Solutions Ltd.を設立 (アイルランドMagnetic Solutions社を買収)
東北大学新産学連携センターにてSTT-MRAM製造装置の技術開発を開始
太陽光パネル製造装置事業から撤退
TOKYO ELECTRON House of Creativity(東北大学知の館)が竣工
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ (株) を設立 (グループ会社の合併による)
米国BRIDGとパートナーシップを提携
超高速メモリチャネルホールエッチング技術(地球温暖化係数84%減)を開発
最先端デバイス3次元実装の技術革新に貢献するレーザ剥離技術を開発