有限会社東京ITV研究所を設立 医療用X線テレビカメラ装置の設計・開発を担う松下通信工業(株)の協力会社として有限会社東京ITV研究所を創業
日本自動制御株式会社を設立 X線テレビのみでなく、最先端の分野での技術開発に注力
自社ブランド製品第一号となるテンションアナライザー発売
半導体業界に参入し、LSIフォトマスク・ピンホール検査装置を開発・発売世界初
LSIフォトマスク欠陥検査装置「1MD1」を開発・発売
ドイツ・デュッセルドルフに駐在員事務所を開設
下請け業務がなくなり自社製品100%に
LSIレチクル欠陥検査装置「2RD1」発売
走査型カラーレーザー顕微鏡「2LM11」を開発・発売
日本自動制御株式会社からレーザーテック株式会社に社名変更
カリフォルニア州サンノゼにLasertec U.S.A., Inc.を設立
FPD用大型フォトマスク欠陥検査装置「20MD」を開発・発売
液晶用カラーフィルタ自動欠陥検査装置「1CF20」および突起修正装置「1RL20」を開発・発売
位相シフト量測定装置「1PM11」を開発・発売
位相シフト量測定装置「MPM100」発売
コンフォーカル(共焦点)顕微鏡「1HD200」を発売
マスクブランクス欠陥検査装置MAGICSシリーズ初代機「M1320」を開発・発売
フォトマスク欠陥検査装置MATRICSシリーズ「MATRICS X653」を開発・発売
太陽電池変換効率分布測定機MAPシリーズを開発・発売
SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置「SICA61」を開発・発売
透明ウェハ欠陥検査/レビュー装置WASAVIシリーズ「TROIS32」を開発・発売
電気化学反応可視化コンフォーカルシステム「ECCS B310」等リチウムイオン電池関連装置を開発・発売世界初
リソグラフィプロセス検査装置「LX330」を開発・発売
EUV光(波長13.5nm)を用いたEUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 「ABICS E120」を開発・発売
アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A150」を開発・発売