各種真空装置の輸入販売を目的として、日本真空技術株式会社(資本金6百万)を創業。
大森工場を新設し、国産装置の製造に着手。
株式会社東洋精機真空研究所を合併し、尼崎工場として真空化学装置及び真空ポンプ等の規格品の製造に着手。
本社及び大森工場を横浜市に移転。
真空技術の基本を応用し、真空冶金事業を開始。
真空材料株式会社(商号変更 アルバックマテリアル株式会社)を設立、耐火材料の販売を開始。
熱分析機器の専門メーカーとして真空理工(現・アドバンス理工株式会社)を設立。
新生産業株式会社(昭和4年9月20日創立)に吸収合併されると共に、同日社名を日本真空技術株式会社と改称し、旧日本真空技術株式会社の事業内容を継続。
外国事業部リライアンス部を分離し、米国 Reliance Electric and Engineering Co. と共同出資で日本リライアンス株式会社を設立。
香港万豊有限公司と共同出資で合弁会社 Hong Kong ULVAC Co., Ltd. を設立。
真空冶金事業部を分離し、真空冶金株式会社を設立。
本社及び横浜工場を茅ヶ崎市に移転。
専売特約店の三和アルバック販売株式会社(商号変更 アルバック東日本株式会社)を設立。
小型真空ポンプの専門メーカーとして真空機工株式会社(現・アルバック機工株式会社)を設立。
超材料研究所を千葉県に新設。
対米輸出の拠点として北米に現地法人 ULVAC North America Corp.(現・ULVAC Technologies, Inc.)を設立。
九州地区の営業活動の拡大のために九州アルバック株式会社(現・アルバック九州株式会社)を設立。
サービス事業部を分離し、アルバックサービス株式会社を設立。SI事業部を分離し、アルバック成膜株式会社を設立。
米国 Helix Technology Corp. と共同出資でアルバック・クライオ株式会社を設立。
台湾台北市に ULVAC TAIWAN Co., Ltd.(現・ULVAC TAIWAN INC.)を設立。
米国 The Perkin Elmer Corp. と共同出資でアルバック・ファイ株式会社を設立。
茨城県筑波学園都市(現つくば市)市内に筑波超材料研究所を設立。
中国北京市に北京事務所を開設。
核融合臨界プラズマ実験装置「JT-60」の真空排気系を納入。
関西の拠点工場としてアルバック精機株式会社を設立。
大型装置の生産体制強化のため、青森県八戸市に東北真空技術株式会社(現・アルバック東北株式会社)を設立。
欧州地区のサービス体制強化のため、西独に ULVAC GmbH を設立。
グループ会社支援のため、株式会社アルバック・コーポレートセンターを設立。
英文社名を ULVAC Japan, Ltd. と変更。
真空ポンプの量産体制確立のため、鹿児島に九州真空技術株式会社を設立。
半導体製造装置の生産体制強化のため静岡県裾野市に富士裾野工場を新設。
九州真空技術株式会社がアルバック精機株式会社を合併し、アルバック精機株式会社に商号変更。
アルバックサービス株式会社がアルバックマテリアル株式会社を合併し、アルバックテクノ株式会社に商号変更。
韓国ソウル市に、ULVAC KOREA, Ltd. を設立。
中国に寧波中策動力機電集団有限公司と合弁で寧波愛発科真空技術有限公司を設立。
真空装置の生産能力拡充のため、東北真空技術株式会社、アルバック九州株式会社鹿児島事業所にクリーン工場を増設。
シンガポールCSセンター、台湾新竹R&Dセンターを開設し、アジアのネットワークを拡大。
台北五股サービスセンターを開設。
ULVAC KOREA, Ltd. に生産工場として平澤工場を設置。
寧波愛発科真空技術有限公司に新工場を設置。
株式会社アルバック(英文社名 ULVAC, Inc.)に商号変更。
カスタマーサポート強化のため ULVAC TAIWAN INC. 桃園 CIP 工場を設置。
カスタマーサポート体制の充実のため ULVAC SINGAPORE PTE LTD を設立。
アルバック東日本株式会社が高山アルバック株式会社を合併し、アルバック イーエス株式会社(現・アルバック販売株式会社)に商号変更。
米国 Physical Electronics USA, Inc. が保有するアルバック・ファイ株式会社株式(50%)を取得し、100%子会社化。
米国 RELIANCE ELECTRIC COMPANY より日本リライアンス株式会社株式(31%)を取得し、持分を81%に引き上げ。
アルバック東北株式会社、アルバックテクノ株式会社、UMAT 株式会社による機械加工、表面処理、精密洗浄の一貫工場を東北に設置。
中国における本格的生産工場と CS ソリューション工場として愛発科真空技術(蘇州)有限公司を設立。
工業用インクジェット装置を製造・販売している Litrex Corporation の株式50%を取得。
韓国に ULVAC KOREA, Ltd. とアルバック東北株式会社が共同出資で大型基板真空用部品の製造を目的とした Ulvac Korea Precision, Ltd. を設立。
韓国に ULVAC KOREA, Ltd. と真空冶金株式会社が共同出資で成膜装置用部品の表面処理を目的とした Pure Surface Technology, Ltd. を設立。
中国に日本リライアンス株式会社、啓電実業股份有限公司と共同出資で制御盤及び自動制御駆動装置の製造、販売を目的とした愛発科啓電科技(上海)有限公司を設立。
中国にアルバック機工株式会社と江蘇宝驪集団公司と共同出資で真空ポンプ用部品の製造、販売を目的とした愛発科天馬電機(靖江)有限公司を設立。
真空冶金株式会社が UMAT株式会社を合併し、アルバックマテリアル株式会社に商号変更。
フラットパネルディスプレイ事業拡大のため、富士通ブィエルエスアイ株式会社より設備事業譲受。
ULVAC KOREA, Ltd. に生産拡大のため玄谷工場を増設。
アルバック機工株式会社宮崎事業所に小型真空ポンプの評価、検証を目的とした信頼性評価センターを設置。
英国 Cambridge Display Technology Limited が保有する Litrex Corporation 株式(50%)を取得し100%子会社化。
タイに販売やフィールドサポートを目的とした ULVAC (THAILAND) LTD. を設立。
台湾にフラットパネルディスプレイ製造装置などの製造を目的とした ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation と、部品加工や部品洗浄などフィールドサポートを目的とした ULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP. を設立。
中国における子会社の管理統括等を目的とした愛発科(中国)投資有限公司を設立。
台湾に制御盤等の製造を目的とした ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc. を設立。
韓国に研究開発を目的とした ULVAC Research Center KOREA, Ltd. を設立。
精密ステージを製造・販売しているシグマテクノス株式会社の株式(70%)を取得。
神奈川県茅ケ崎市に真空装置部品の表面処理を目的としたアルバックテクノ株式会社ケミカルセンターを新設。
宮崎県西都市に小型真空ポンプの生産集約化を目的として、アルバック機工株式会社宮崎事業所を増設。
愛知県春日井市にフラットパネルディスプレイ製造装置の生産能力拡充のため、愛知工場を新設。
インドビジネス拡大のため、ULVAC, Inc. India Branch. を設立。
埼玉県日高市に大型の精密ステージの製造・販売するためシグマテクノス株式会社本社工場を新設。
啓電実業股份有限公司の持株譲渡に伴い愛発科啓電科技(上海)有限公司を愛発科自動化科技(上海)有限公司に商号変更。
開発委託設計を目的としたアルバック ワイ・エム・イー株式会社(現・アルバックエンジニアリング株式会社)を設立。
フィールドサポートを専門とした、アルバックヒューマンリレーションズ株式会社を設立。
台湾における経営の合理化などを目的として ULVAC TAIWAN INC. を存続会社とし、ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation と合併。
韓国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディングを目的とした、ULVAC Materials Korea, Ltd を設立。
スパッタリングターゲット材の効率的な生産と開発体制の強化を目的として、アルバックマテリアル株式会社から当社へ事業を移し、洗浄事業のサポート体制の充実を目的として、アルバックテクノ株式会社とアルバック九州株式会社へ事業譲渡。
中国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディグを目的とした、愛発科電子材料(蘇州)有限公司を設立。
中国にタッチパネルの製造などを目的とした愛発科豪威光電薄膜科技(深圳)有限公司を設立。
ディスプレイ事業を東アジアで機動的に事業展開するため、Litrex Corporation を解散し、当社にて同事業を継続。
中国に研究開発を目的とした愛発科(蘇州)技術研究開発有限公司を設立。
研究開発強化のため、冨里工業団地に千葉超材料研究所を新設移設。
当社がアルバックマテリアル株式会社を吸収合併、アルバック九州株式会社のサービス、洗浄、表面処理事業をアルバックテクノ株式会社に事業譲渡。また、アルバック九州株式会社がアルバック精機株式会社を吸収合併。
韓国での研究開発強化のため、ULVAC KOREA, Ltd. の付属研究所として韓国超材料研究所を設立。
株式会社アルバック・コーポレートセンターを解散し、当社にて同事業を継続。
販売体制強化のため、アルバック イーエス株式会社をアルバック販売株式会社に商号変更。
シグマテクノス株式会社を解散。
日本リライアンス株式会社の一部株式(80%相当)を株式会社高岳製作所へ譲渡。
ULVAC Research Center TAIWAN, INC. を解散し、ULVAC TAIWAN INC. にて同事業を継続。
中国に輸入部品の保税扱いでの仕入れ、販売のため、愛発科真空設備(上海)有限公司を設立。
アルバック理工株式会社(現アドバンス理工株式会社)の全株式を株式会社チノーへ譲渡。
アルバックエンジニアリング株式会社を解散。
未来技術研究所を設立。
沈陽中北真空技術有限公司が保有する愛発科中北真空(沈陽)有限公司(現 愛発科真空技術(沈陽)有限公司)の株式(25%)を取得し、100%子会社化。
100%子会社化に伴い、愛発科中北真空(沈陽)有限公司を愛発科真空技術(沈陽)有限公司に商号変更。
中国にフラットパネルディスプレイ用マスクブランクス事業の生産、販売を目的とした愛発科成膜技術(合肥)有限公司を設立。
大阪大学内にアルバック未来技術協働研究所を開設。-基礎研究拠点の設置と人財育成貢献への取り組み-
日本リライアンス㈱を㈱REJに商号変更。