製品名/製品カテゴリ名
[証券コード]会社名
製品/製品カテゴリ内容
半導体製造装置・材料
ワイヤボンダ、ウェッジボンダー、ウェッジツールなどの半導体製造装置および材料。
基板 実装装置・材料
プラズマ処理装置、ダイボンダ、電子回路プリンタなどの基板実装装置および材料。
装置部品・機器販売
モーター、減速機、チェーンなどの装置部品および機器。
装置・機器システム
ホロセップ ミニ®、ハニローター®VOC濃縮装置、窒素脱着式 K-FILTER®VOC回収装置
PSA式窒素ガス発生装置
窒素ガスを手軽に使用できるPSA式窒素ガス発生装置。食品、防爆、リフロー炉から船舶、レーザー加工機まであらゆる用途でご使用頂いております。小型から大型まで幅広いラインナップを取り揃え、お客様に最適な窒素PSAをご提案致。
省エネタイプPSA式窒素ガス発生装置
FEエネシステムは、インバータコンプレッサを用いずに窒素ガス消費量の変動に応じて、コンプレッサの消費電力を 削減できる弊社独自の省エネ制御システムです（特許取得済み）。窒素ガスの使用量に応じて、最適な装置稼働パターンを自動的に選択することで、安定した窒素ガス供給と最大限の 省エネ効果を実現できます。
吸着式排ガス処理装置
長年に渡る排ガス処理装置（除害装置）の開発・設計・製作のノウハウをもとに、お客様のご使用条件にあった最適な設備をご提供致。吸着式除害装置では、処理対象ガスに最適な乾式除害剤の組み合わせにより、確実に排ガス処理を行います。研究用の小規模なものから生産工場用の大型装置まで豊富なラインナップで対応。
液化窒素式食品凍結装置「Bistranza-FZ」シリーズ
-196℃の液化窒素の冷熱を利用する「Bistranza-FZシリーズ」は、省電力、ノンフロン化を促進する環境にやさしい急速冷凍装置。低温急速冷凍で鮮度を保ち、また広い温度領域に対応し、様々な凍結ニーズに応えます。
陸上養殖システム「高効率酸素溶解装置」
陸上養殖でお困りございませんか？酸素を効率良く水中に溶解させることで、魚類飼育時の理想的な溶存酸素量(DO値)を実現し、生育環境を整えます。飼育水の酸素富化を行うことにより、高密度養殖・生育促進・排水量削減を実現致します！
冷凍バリ取り装置
ゴムの成形品に発生する「バリ」を、液化窒素を利用して除去する装置です。以前のバレル式のバリ取り装置では割れが発生していたものでも、割れが発生せずにバリ取りができます。手作業から機械での作業に変更することで、人件費削減、作業の効率化、工程の自動化、などが可能になります。機種は３種類で、ミリ単位の微細な製品から重量物まで様々な製品に対応いた。
粒状・微粉凍結装置（Bistranza-IQF）
-196℃の液化窒素の冷熱を利用する液体の粒状凍結装置です。製品形状は球状に近く、直径数十ミクロン～数ミリサイズの製造が可能です。ノンフロンシステムなので、環境にやさしい装置です。
サブゼロ装置
液化窒素（-196℃）式 急速冷凍・冷却システムです。庫内温度-120℃到達まで10分以内／安価なメンテナンスコストと省スペースで故障の少ないシンプル構造／廉価な標準仕様から高度な制御、自動ラインの組み込みまで幅広く対応
ヘリウム再凝縮装置
トランスファー操作不要／既存クライオスタット取付可能／無人運転可能
燃焼式排ガス処理装置
長年に渡る排ガス処理装置（除害装置）の開発・設計・製作のノウハウをもとに、お客様のご使用条件にあった最適な設備をご提供致。燃焼式除害装置は、CVDプロセスやエッチングプロセスで排出される可燃性、毒性ガス及びPFC等の難分解性ガスを副生成物（NOx、CO等）を抑制し、高効率で燃焼分解。
宇宙環境試験装置（スペースチェンバー）
大陽日酸が誇る極低温・高真空技術を集結した宇宙環境試験装置（スペースシミュレーションチェンバー）は、宇宙空間の冷暗黒・超高真空などの極限環境を忠実に再現。当社は部品レベルの開発試験に使う超小型から衛星全体の試験のための超大型まで、幅広い領域で数々のチェンバーを提供しています。
試料自動入出庫機能付凍結保存装置（クライオライブラリー）
再生医療産業には欠かせない予備凍結を一括で大量に処理することが可能となっており、設備投資の低減と省スペース化にも貢献可能な装置となっています。電気式プログラムフリーザーと比べて、冷却処理能力が高く、温度制御幅も大きいため、適切な冷却速度で細胞の予備凍結処理ができます。
空気分離装置
空気分離装置は空気を圧縮、冷却液化し、蒸留により酸素・窒素・アルゴンに分離する装置です。1935年、大陽日酸は、わが国初の空気分離装置の国産化に成功しました。豊富な経験と高度な技術力を活かし、鉄鋼・電力・銅精錬・化学・石油精製・硝子などのあらゆる分野の産業に対して、小型から超大型まであらゆる規模の空気分離装置を提供。
窒素製造装置
窒素製造装置は弊社が1960年代より改良を重ね、高性能化・シリーズ化を進めてきました。現在では化学、硝子、繊維、金属、食品などの一般産業向けに開発されたタイプ、半導体産業用の高純度タイプ、小規模需要に対応したコンパクトタイプなどの多彩なラインアップで、あらゆる産業のご要望にお応え。
MOCVD装置
MOCVD（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）装置とは、原料に有機金属やガスを用いながら化合物半導体の成膜を行う装置のことです。近年、LEDやスマートフォン、自動運転システムを搭載した電気自動車が社会を劇的に豊かにしています。これらの画期的なデバイスの中核をなす材料として、化合物半導体は不可欠な材料であり、化合物半導体の製造には当社のようなMOCVD装置が必要とされています。当社は1983年に自社開発の商業用MOCVDを世界で初めて導入しました。現在では用途（研究用、量産用）、原料（GaN（窒化ガリウム）、Ga2O3（酸化ガリウム）、GaAs/InP（ガリウムヒ素/インジウムリン））、ウェハサイズ・枚数（2インチ×単数・複数枚）等によって、様々なタイプの装置を研究・製造・販売しています。
膜式加湿装置
従来のバブラー式とは異なる、非多孔質中空糸膜モジュールを使用した膜透過方式（膜式）による新しいシステムの加湿装置。
ドライアイス噴射洗浄装置「パウダーショット」（卓上型）
洗剤や研磨材を使用せず、ドライアイスの高速吹付により製品を傷付けることなく汚れ･バリ取りが可能に！残留物もゼロ！！
高純度ガス精製装置
大陽日酸は窒素、酸素、水素、アルゴン、ヘリウムおよびアンモニア精製装置のトップカンパニーです。原料ガス中の酸素、二酸化炭素、一酸化炭素、水素および水分等の不純物成分を吸着除去して、対象ガスを超高純度に精製。豊富なラインナップから最適な精製方式をご提供いた。
スピンエッチング装置用シリコンウエハエッチング液 スピンエッチング対応Siエッチング液
除塵装置
発電所、製鉄所、石油化学、石油精製、淡水化プラント、ガス・LNG基地、ポンプ場等の取水口に設置、水中に含まれる塵芥(クラゲ、海藻、ビニール袋等)を除去し、きれいな水を連続的に安全に供給
キューブ型ソーラー発電蓄電装置 「ソーラーキュービクル®」
キューブ型ソーラー発電蓄電装置 「ソーラーキュービクルミニ」
洗浄装置および周辺機器
洗浄装置、周辺機器（各種濃度計、純水再生）
鳥害防止装置
小ギャップ式鳥害防止装置は、送電鉄塔のがいし装置のアークホーン部分に取り付ける装置です。雷撃時のがいし保護とアークホーンに鳥が接触する事により発生する感電・停電事故を防止し、送電線路信頼性向上と鳥類の保護に使用。
がいし洗浄装置
海岸線や工業地帯などでは、大気に含まれる塩や塵埃が多く、それががいし表面に付着することにより、がいしの絶縁特性が低下する場合があります。がいし活線洗浄装置は、発電所や変電所にて機器の性能を保つため、注水洗浄する装置です。
水噴霧消火装置
水噴霧消火装置は、発電所や変電所に設置されている変圧器などの 油入機器の火災時に、噴霧水で覆って窒息・冷却効果により短時間で消火させる装置です。 アクアガードノズルの採用により、屋外でも風の影響を少なくして、安定した消火性能を 保つことができます。
加熱装置（加熱炉）
各種セラミック製品を製造するための焼成炉、乾燥炉に日本ガイシのノウハウを生かしました。フラットパネルディスプレイ、太陽電池、電子セラミックスなどの先端分野から食器など窯業分野まで、各種の加熱装置を提供します。
膜分離装置・システムエンジニアリング
日本ガイシは、「膜分離技術」のパイオニアとして、医薬、食品、化学、半導体、電子分解への膜応用技術の開発に積極的に取り組んでいます。ろ過・分離・精製・濃縮などで高品質・高効率のメンブレンテクノロジーを提供します。
高温ガス集塵装置
従来の大気汚染対策設備の諸問題を解決する次世代の集塵装置として、日本ガイシは独自のセラミック技術を駆使し、ハニカムセラミックスを応用した高温ガス集塵装置「セラレックシステム」を開発しました。
半導体製造装置用製品
半導体の製造工程で使われるさまざまな部品を提供しています。セラミックスが静電気を帯びる特性を活かした静電チャックは、材料開発から仕上加工まで一貫しておこなっており、シリコンウェハの表面温度を均一に保つ独自技術で半導体の品質を向上させています。今後もIoT社会に欠かせない、半導体の生産効率向上に寄与
酸素濃縮装置
慢性閉塞性肺疾患の患者さまに濃縮した酸素を供給する医療用酸素濃縮装置。当社独自のセンサを搭載し、患者さまの安全を見守っているほか、トップクラスの省エネ性、静音性に加えて、通信機能を搭載した製品を製造販売。近年ニーズの高まる在宅酸素療養に対応
研磨装置
Mipox製の研磨フィルムの機能を最大限引き出す半導体ウェーハ専用研磨装置。自社の研磨フィルムを使用し、砥石研削加工や遊離砥粒方式での加工方法では達成できないフィルム研磨方式によって、超微細の表面コントロールを実現。
観察装置
パワー半導体などの素材として注目されているSiCウェーハ等の内部に存在する結晶欠陥や内部歪みを、高感度かつリアルタイムに可視化し飛躍的な生産性向上を促す欠陥評価装置。
駆動装置
昭和20年代後半より、鉄道車両用駆動装置、歯車形軸継手などを一貫して設計・製造
試験装置
実車走行をシミュレートできる、半無響室を備えた駆動装置専用の高速負荷回転試験機を世界で初めて開発・導入致しました。
フィルム・シート製造装置等の製造・販売・保守サービス
電子部品・ディスプレイ製造関連機器（レーザーアニール装置等）
半導体製造装置用厚板
一般的な6061材製品と比較して細かな結晶
アルカリ回収装置
アルミ表面処理のエッチング工程から発生する苛性廃液を、苛性ソ－ダと結晶性水酸化アルミニウムに分離して回収再使用する装置。
半導体検査装置用部品（コンタクトプローブ関連製品）
モールディング装置
半導体チップを保護するための流動性樹脂をゲート(供給口)からその半導体チップの周囲に供給した後に硬化させる、トランスファ方式によるモールディング装置(樹脂封止装置)を販売。予め供給された流動性樹脂に半導体チップを漬けた後にその流動性樹脂を硬化させる、コンプレッション方式によるモールディング装置を開発し販売。
シンギュレーション装置
トランスファ方式やコンプレッション方式でモールディングされた製品を個片化し収納するシンギュレーション装置
小型オンサイト水素製造装置「HyGeia(ハイジェイア)シリーズ」
ケミカル、水素、医薬、半導体・電子材料、金属、ガス製造・精製分野で使われる小型の水素製造装置。
大型水素製造装置
エネルギー、水素、金属分野で使われる大規模な水素製造装置。
各種硫化水素除去装置
エネルギー、ケミカル、環境改善、ガス製造・精製分野で使われる硫化水素除去装置。
超微細気泡散気装置（FlexAir™ MiniPanel）
水処理分野で使われる超微細気泡散気装置。
沈砂洗浄装置（スパイラルウォッシャー）
水処理分野で使われる沈砂洗浄装置。
超高速沈殿装置（De Hoxar Spiral Separator）
水処理分野で使われる超高速沈殿装置。
小規模向け高濃度対応型生物脱臭装置
水処理、環境改善、汚泥処理分野で使われる小規模向け生物脱臭装置。
河川浄化システム（酵素供給装置）
環境改善分野で使われる河川浄化システム。
バラスト水処理装置 三菱-VOSシステム
環境改善、船舶、水処理分野で使われるバラスト水処理装置。
三菱スクリーン装置（発電所用海水取水口スクリーン）
エネルギー、水処理分野で使われる発電所用スクリーン装置。
システム機器（洗浄装置・pH中和処理装置・濁水処理装置）
超純水製造装置
不純物を極限まで取り除いた理論純水に限りなく近い水をつくるシステムです。イオン交換、逆浸透膜、電気脱塩、限外ろ過などの水処理技術
排水処理装置
工場で使われた様々な水質・性状の排水を幅広い技術を用いて確実に処理するシステム
各種産業向け用水処理装置
注射液や目薬などの医薬用水、食品や飲料の製造用水、電力や鉄鋼産業向けのボイラ用水など、様々な産業の用途に応じた水を製造するシステム
規格型水処理装置・標準型排水処理装置
処理水量や機器構成などの仕様を規格化した中小型の水処理装置を豊富にラインナップ
CVD装置
化合物半導体やシリコンプロセスでの絶縁膜、パッシベーション膜の形成を目的としたCVD装置
ドライエッチング装置
高周波により発生させたプラズマを用いて基板表面を微細加工する装置
ドライ洗浄装置
溶液を用いたウエット洗浄処理を行わないドライ方式の洗浄装置
金属・工業加熱装置
省エネルギーや環境問題にも配慮した金属熱処理（浸炭・窒化・焼結・焼鈍・焼入などの表面改質）装置。
半導体製造装置
縦型炉、横型炉、ランプアニール装置、オーブンなど、長年培った技術で半導体用熱処理装置を製造。
ディスプレイ・フィルム向け装置
液晶や有機ELをはじめとしたディスプレイ向けクリーン加熱装置や、高機能フィルム・二次電池用電極等のシート材向け加熱装置。
電子部品・セラミックス製造装置
連続炉は長年販売してきた多数の実績があり、優れた炉内雰囲気制御で品質に貢献。高温オーブンは国内トップシェア。
研究・開発向け装置
生産用熱処理装置の製造販売で培った豊富なノウハウが盛り込まれた小型電気炉。信頼性が高く、実験開発に最適。
IGBTセルビウス装置 THYFREC CV700SB
中～大容量交流巻線形電動機を可変速運転するセルビウス装置。
ハブナットクランプ式車両拘束装置
車輪のホイールハブにボルトを締結して固定する装置
フレックダイナモメータ制御装置 THYFREC VT340DY
IGBT式インバータを採用し、高精度・高応答制御を可能にした制御盤
汚泥容量指標自動測定装置（SVI計）
汚泥容量・汚泥濃度・汚泥容量指標を自動測定。
特高開閉装置（GIS）
様々なシーンで活躍するガス絶縁開閉装置 全機種にＶＣＢを採用。
監視制御装置
小規模から大規模まで幅広い上下水道プラントに対応するシステム。
装置制御ソリューション CIMControl Framework™ （Cimetrix社製品）
半導体・液晶製造装置向けの制御システム構築用フレームワーク。
超高濃度・高純度 ピュアオゾン水生成装置
ピュアオゾンガス(≒100%)を適用し、世界トップクラス濃度のピュアオゾン水を常圧で安全に生成できる装置。
非常用発電装置
目的・用途・設置条件に応じた豊富な品揃えの非常用発電装置
高圧開閉装置
定格電圧3.6kV/7.2kＶ用の縮小型開閉装置。
高純度オゾンガス発生装置 ピュアオゾンジェネレータ
純度≒100%のオゾンガスを安全に連続して生成できる装置。
成膜プロセス装置
ウェーハ上に回路素材となるナノレベルの薄膜を形成する装置
トリートメント(膜質改善)プロセス装置
形成した薄膜にプラズマや熱を加えることで膜中の不純物を除去し、粒子を安定させて膜質を改善させる装置
機器装置
産業用ロボット、カードリーダ、検査装置、プレス機器、変減速機、工作機械
168 or 72/84kVガス絶縁開閉装置（GIS）
スマートメーター/スマートグリッド用情報伝達装置（SST）
温度可変反り検査装置 HVI-S10000C-RC/EC
インラインバンプ検査装置 In-Tray Type TVIシリーズ TVI-S7040-RA
インラインバンプ検査装置 Index Type CVIシリーズ CVI-S10210-RA
自動車用標識装置
規制区域(高速道・一般道)にて各種表示器(標識装置)に注意喚起等を表示し、ドライバーに確実な情報を提供
スパッタリング装置
真空中で金属やシリサイドなどの金属の材料に、高エネルギーのアルゴン原子をぶつけ、それに叩かれ飛び出してくる金属原子を付着させて成膜する装置。
ＣＶＤ装置
つくる薄膜の種類に応じて原料をガス状態で供給し、下地膜の表面における化学触媒反応によって膜を堆積させる装置。
エッチング装置
真空中に被エッチング材料を入れ、その材料に合わせてエッチングガスを導入しプラズマ化し、エッチング種が被エッチング材料に吸着されると表面化学反応を起こし、エッチング生成物を排気除去する装置。
真空蒸着装置
真空中で特定の物質を熱し、そこから蒸発する原子や分子をより温度の低い面に凝縮させて、表面に膜を形成する装置。
無停電電源装置(UPS)のイメージ無停電電源装置(UPS)
平面研磨装置
半導体ウエハやガラス用研磨装置・消耗品
抗ウイルス・除菌用紫外線照射装置「Care222® i（アイ）シリーズ」
光オゾン脱臭・除菌装置「XEFIRIA（ゼフィリア）」
抗ウイルス・除菌用紫外線照射装置「Care222® i（アイ）シリーズ」
電源装置
蓄電池と組み合わせて、安定した電力供給を可能にする装置。
接合装置
レーザ溶接機・超音波機器（ウェルダ・カッタ）、抵抗溶接機、パルスヒートユニット、シーム溶接機などの接合装置
集中潤滑装置
トライボロジーで培った高度な研究・技術を活かし、軸受以外の潤滑技術応用製品も開発
検査用光源装置
決められた性質の光を作り出してイメージセンサに照射する装置であり、品質検査に必ず必要な装置。イメージセンサの用途によって必要とされる光の性質が異なっており、弊社では大きく分けて「イメージセンサ検査用」と「測距センサ検査用」の光源装置を取り扱っております。
ツリウムファイバーレーザー装置 SOLTIVE SuperPulsed Laser